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"海明科技(贵阳)有限公司是于2007年12月29日成立的一家中外合资企业,从事表面 精密加热控制系统的研究、开发、生产、销售工作,公司位于贵州省贵阳市高新区金阳科技产业园标准厂房内。瑞典Hemi Heating AB公司出资80%,贵阳海诚科技有限公司出资20%,瑞典人Henry Kvael先生担任法人代表。企业法人和主要负责人都是熟悉企业产品的研究、开发、生产和经营的,并重视技术创新的公司专职人员。 当在生产过程中使用的气体流向相应的生产设备或气体从生产设备中排除时,如果气体流经的管道和阀门、真空泵等的表面温度没有控制好或者表面没有加热到适当的温度,气体在管道等里面有可能产生凝固和固化、真空部分(管道、阀门)因固化而生成一层氧化硅固体颗粒和小薄片等,终形成厚厚的一层固体物,致使管道的有效管径变小而完全堵塞等现象,这些现象在生产过程中枚不胜举例如:DCS(di chlore silane)从26℃的气体瓶经管道送到生产设备的过程中,当使用过的气体从PECVD,等离子蚀刻(lasm etch)LPCVD等的高温腔体里排除时等等,当这些现象发生时,需要计划外停机检修,影向了正常的生产,甚至..【查看详情】
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