二氯硅烷; 三氯硅烷; 四氯氢硅;
沁阳国顺硅源光电气体有限公司主要从事硅源气体的生产和销售,其产品高纯二氯硅烷(SiH2Cl2)主要用于硅外延和生长集成电路上各种含硅薄膜的制备,是制作大规模集成电路和超大规模集成电路的气源。公司目前新建项目是原国家发展员会以计高技[2002]1859号文批准建设的国家技产业化新材料专项示范工程。其技术含量居国内地位,并。【查看详情】
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